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TU Berlin

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Systeme & Methoden

Wir verfügen über verschiedene Systeme zur Beschichtung von dielektrischen Materialien, Metallen und Transparent leitfähigen Oxiden. Zur Schicht-Charakterisierung und Qualitätssicherung stehen uns darüberhinaus eine Vielzahl an Analyseverfahren zur Auswahl.

Beschichtungsanlagen

Elektronenstahlverdampfung mit APS Leybold Optics SYRUSpro710®
Lupe

Elektronenstrahlverdampfung von Dielektrischen Materialien

  •   Leybold Optics SYRUSpro710®
      mit APS
  •   Leybold Optics L560®


Thermische Verdampfung von Metallen

  •   Eigenbau mit Steuerung von Leybold Optics
Magnetron Sputtern von ITO Denton Vacuum DesktopPro®
Lupe

Magnetron Sputtern von Transparent Leitfähigen Oxiden (TCOs)

  •   Denton Vacuum Desktop Pro®

Messmethoden

Transmissions- und Reflexionsspektroskopie

  •   Weißlicht-Spektrometer (300 nm – 2000 nm)
  •   External Cavity Laser (ECL)  (1520 nm – 1630 nm)
  •   Superlumineszenzdiode (SLED) (1300 nm – 1700 nm)
  •   Diverse andere Lichtquellen nach Absprache


Topographie und Materialanalyse

  •   Lichtmikroskopie
  •   Rasterkraftmikroskopie (AFM)
  •   Rasterelektronenmikroskopie (SEM) – extern am ZELMI
  •   Röntgenanalyse (EDX) – extern am ZELMI


Elektrische Charakterisierung

  •   Vierpunkt Schichtwiderstandmessung

Zusatzinformationen / Extras

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