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TU Berlin

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Nano-Werkbank FIB

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Die Nanowerkbank ist eine Plattform zur Analyse und Strukturierung von Festkörpern auf der Nanometerskala.

Herzstück ist ein Focussed Ion Beam Gerät ("FIB", FEI Helios NanoLab 600), das es erlaubt, auf der Nanometerskala Material abzutragen. Dies geschieht durch den Beschuss der Probe mit einem fokussierten Strahl aus Gallium Ionen – man kann sich dies anschaulich sich wie das Sandstrahlen im Nanometermaßstab vorstellen. Auf diese Weise lassen sich z.B. Gräben ziehen oder Lammellen aus einer Probe heraustrennen. Neben dem Abtragen von Material ist die Deposition von Metallen (Pt, W) mit Nanometerpräzision möglich, um z.B. elektrische Kontakte zu erstellen.

Diese Strukturierungsmöglichkeiten sind kombiniert mit einem Rasterelektronemikroskop (SEM incl. EDX). Auf diese Weise ist es möglich, während der Strukturierung "live" das Entstehen der Strukturen zu betrachten. Damit eignet sich das System insbesondere zur Erprobung neuartiger Strukturen und der Herstellung von Prototypen. Andererseits bietet die Kombination des FIB mit dem SEM besondere analytische Möglichkeiten. So können dreidimensionale Bilder eines Probenvolumens erstellt werden, indem man "scheibchenweise" tiefer in die Probe vordringt und oder vergrabene Teile vorab frei präpariert.  

Die Nano-Werkbank wird im Neubau des Zentrums für Elektronenmikroskopie der TU Berlin für interne und externe Nutzer betrieben. Sie soll es Unternehmen aus der Region ermöglichen, neue Anwendungsfelder in den Nanowissenschaften zu erschließen. Wissenschaftlern soll die Nano-Werkbank neue Forschungsbereiche eröffnen und insbesondere zum Brückenschlag zwischen Grundlagenforschung und Anwendung beitragen.

Wenn Sie die Nano-Werkbank nutzen möchten, wenden Sie sich bitte an Prof. Dr. S. Eisebitt.

Informationen zur FIB auf der ZELMI Seite.

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Prof. Dr. Stefan Eisebitt
+49 30 314 25496
Ernst-Ruska-Gebäude
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Sekretariat

ER 1-1 Claudia Rupprecht
+49 30 314 -22258 (fax -23421)
Ernst-Ruska-Gebäude
Raum 320

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