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TU Berlin

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Unsere Systeme

Wir verfügen über verschiedene Systeme zur Beschichtung von dielektrischen Materialien, Metallen und Transparent leitfähigen Oxiden. Zur Schicht-Charakterisierung und Qualitätssicherung stehen uns darüberhinaus eine Vielzahl an Analyseverfahren zur Auswahl.

Beschichtungsanlagen

Elektronenstahlverdampfung mit APS Leybold Optics SYRUSpro710®
Lupe

Elektronenstrahlverdampfung von Dielektrischen Materialien

  •   Leybold Optics SYRUSpro710® mit APS
  •   Leybold Optics L560®


Thermische Verdampfung von Metallen

  •   Eigenbau mit Steuerung von Leybold Optics


Magnetron Sputtern von ITO Denton Vacuum DesktopPro®
Lupe

Magnetron Sputtern von Transparent Leitfähigen Oxiden (TCOs)

  •   Denton Vacuum Desktop Pro®

Zusatzinformationen / Extras

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