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Unsere Systeme
Wir verfügen über verschiedene Systeme zur Beschichtung von dielektrischen Materialien, Metallen und Transparent leitfähigen Oxiden. Zur Schicht-Charakterisierung und Qualitätssicherung stehen uns darüberhinaus eine Vielzahl an Analyseverfahren zur Auswahl.
Beschichtungsanlagen
- Elektronenstahlverdampfung mit APS Leybold Optics SYRUSpro710®
[1]- © Schweda
Elektronenstrahlverdampfung von Dielektrischen
Materialien
- Leybold Optics SYRUSpro710® mit APS
- Leybold Optics L560®
Thermische
Verdampfung von Metallen
- Eigenbau mit Steuerung von Leybold Optics
- Magnetron Sputtern von ITO Denton Vacuum DesktopPro®
- [2]
- © Schweda
Magnetron Sputtern von Transparent Leitfähigen Oxiden (TCOs)
- Denton Vacuum Desktop Pro®
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