Wir verfügen über verschiedene Systeme zur Beschichtung von dielektrischen Materialien, Metallen und Transparent leitfähigen Oxiden. Zur Schicht-Charakterisierung und Qualitätssicherung stehen uns darüberhinaus eine Vielzahl an Analyseverfahren zur Auswahl.

Elektronenstrahlverdampfung von Dielektrischen Materialien

•   Leybold Optics SYRUSpro710® mit APS
•   Leybold Optics L560®

Thermische Verdampfung von Metallen

•   Eigenbau mit Steuerung von Leybold Optics

Magnetron Sputtern von Transparent Leitfähigen Oxiden (TCOs)

•   Denton Vacuum Desktop Pro®