Wir verfügen über verschiedene Systeme zur Beschichtung von dielektrischen Materialien, Metallen und Transparent leitfähigen Oxiden. Zur Schicht-Charakterisierung und Qualitätssicherung stehen uns darüberhinaus eine Vielzahl an Analyseverfahren zur Auswahl.

Elektronenstrahlverdampfung von Dielektrischen Materialien

•   Leybold Optics SYRUSpro710®
    mit APS
•   Leybold Optics L560®

Thermische Verdampfung von Metallen

•   Eigenbau mit Steuerung von Leybold Optics

Magnetron Sputtern von Transparent Leitfähigen Oxiden (TCOs)

•   Denton Vacuum Desktop Pro®

Transmissions- und Reflexionsspektroskopie

•   Weißlicht-Spektrometer (300 nm – 2000 nm)
•   External Cavity Laser (ECL)  (1520 nm – 1630 nm)
•   Superlumineszenzdiode (SLED) (1300 nm – 1700 nm)
•   Diverse andere Lichtquellen nach Absprache

Topographie und Materialanalyse

•   Lichtmikroskopie
•   Rasterkraftmikroskopie (AFM)
•   Rasterelektronenmikroskopie (SEM) – extern am ZELMI
•   Röntgenanalyse (EDX) – extern am ZELMI

Elektrische Charakterisierung

•   Vierpunkt Schichtwiderstandmessung