Inhalt des Dokuments
Systeme & Methoden
Wir verfügen über verschiedene Systeme zur Beschichtung von dielektrischen Materialien, Metallen und Transparent leitfähigen Oxiden. Zur Schicht-Charakterisierung und Qualitätssicherung stehen uns darüberhinaus eine Vielzahl an Analyseverfahren zur Auswahl.
Messmethoden
Transmissions- und Reflexionsspektroskopie
- Weißlicht-Spektrometer (300 nm – 2000 nm)
- External Cavity Laser (ECL) (1520 nm – 1630 nm)
- Superlumineszenzdiode (SLED) (1300 nm – 1700 nm)
- Diverse andere Lichtquellen nach Absprache
Topographie und Materialanalyse
- Lichtmikroskopie
- Rasterkraftmikroskopie (AFM)
- Rasterelektronenmikroskopie (SEM) – extern am ZELMI
- Röntgenanalyse (EDX) – extern am ZELMI
Elektrische Charakterisierung
- Vierpunkt Schichtwiderstandmessung
Zusatzinformationen / Extras
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