TU Berlin

AG WoggonMessmethoden

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Messmethoden

Spektroskopie

Schematische Darstellung des Strahlengangs
Lupe

Spektrometer Lambda 19
Fa. Perkin Ellmer

  • Range: 300 nm – 2000 nm
  • Auflösung: 0,1 nm

External Cavity Laser (ECL)
Fa. Agilent

  •   Range: 1520 nm – 1630 nm
  •   Auflösung: 0,1 pm



Superlumineszenz Dioden (SLED)

Fa. DenseLight

  •   Range: 1300 nm – 1700 nm
  •   Leistung: 10 mW



Optical Sectrum Analyzer (OSA)
Fa. Hewlett Packard

  •   Range: 600 nm – 1700 nm
  •   Auflösung: 0,08 nm

Topographie & Materialanalyse

AFM-Scan einer Polymerschicht auf der Endfläche einer optischen Faser
Lupe

AFM NanoR
Fa. Pacific Nanotechnology

  •   max. Querschnitt: 80µm
  •   Auflösung: 250pm
  •   Contact- und Non-Contact mode
  •   Topographie, Rauigkeit
SEM-Aufnahme einer 500 nm dicken Goldschicht
Lupe

Rasterelektronenmikroskope (SEM)
Röntgenanalyse (EDX)
Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)

extern an der ZELMI

  •   SEM Imaging
  •   Auflösung bis zu 2 nm (SEM)
  •   Auflösung bis zu 0,24 nm (TEM)
  •   Röntgenanalyse qualitativ und quantitativ

Vierpunkt Schichtwiderstandsmessung

Selbstbau
 

  •   Standardisiertes Messverfahren

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